Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 波导光开关及其制作方法 (发明) | |
鄂书林 ; 孔光明; 赵虎旦; 邓文渊
| |
| 2008-12-24 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2008-12-24 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种三维垂直耦合型波导光开关及其制作方法，波导光开关采用五层膜结构，从基底硅片至金属电极依次为下波导下包层、下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、上波导上包层；下波导包层和上波导包层、垂直耦合层选用聚酯类聚合物，上波导和下波导均采用环化橡胶类聚合物，两者之间的夹角为０．２°～１．８°。五层膜采用涂敷方法制作，上…… |
| 资助项目 | 100445783 |
| 申请号 | 200710055943.4 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11216 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鄂书林,孔光明,赵虎旦,等. 波导光开关及其制作方法 (发明)[P]. 2008-12-24. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200810110555300000（410KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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