中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	波导光开关及其制作方法 (发明)
	鄂书林; 孔光明; 赵虎旦; 邓文渊
	2008-12-24
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2008-12-24
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种三维垂直耦合型波导光开关及其制作方法，波导光开关采用五层膜结构，从基底硅片至金属电极依次为下波导下包层、下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、上波导上包层；下波导包层和上波导包层、垂直耦合层选用聚酯类聚合物，上波导和下波导均采用环化橡胶类聚合物，两者之间的夹角为０．２°～１．８°。五层膜采用涂敷方法制作，上……
资助项目	100445783
申请号	200710055943.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11216
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	鄂书林,孔光明,赵虎旦,等. 波导光开关及其制作方法 (发明)[P]. 2008-12-24.

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CN200810110555300000（410KB）			开放获取	--	浏览 下载

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