中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种变焦距X射线组合透镜及其制作方法 (发明)
	梁静秋; 乐孜纯; 黄鑫华; 梁中翥
	2009-04-08
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2009-04-08
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于光学技术领域，涉及一种变焦距Ｘ射线组合透镜及其制作方法。该组合透镜包括透镜主体及透镜主体上间隔排列的空气腔，所述透镜主体材料为ＰＭＭＡ；其制作方法是首先在起到支撑作用的单晶硅片表面依次制作聚酰亚胺、金属薄膜和光刻胶等所需层面；然后经过光刻，电铸，去胶，开窗口等步骤，完成光刻透镜主体时所使用的掩膜和光刻空气腔时……
资助项目	100476460
申请号	200710055944.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11205
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,乐孜纯,黄鑫华,等. 一种变焦距X射线组合透镜及其制作方法 (发明)[P]. 2009-04-08.

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CN200810111829000000（661KB）			开放获取	--	浏览 下载

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