新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法 (发明)

	新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法 (发明)
	高福斌; 张平; 刑汝冰; 金锋
	2001-10-03
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法。本发明由光源、透镜、信号处理、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成，本发明采用的制备方法将棱镜制备于光波导薄膜下表面，用棱镜－光波导结构取代光栅－光波导结构，提高了耦合效率和色散能力；造价低、应用范围大；杂散光干扰少，光谱分辨率高；本发明是一种小……
资助项目	1315656
申请号	105125.3
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11194
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	高福斌,张平,刑汝冰,等. 新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法 (发明)[P]. 2001-10-03.