中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种微型辐射探测芯片的制作方法 (发明)
	梁静秋; 方伟; 梁中翥
	2009-10-21
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2009-10-21
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种微型辐射探测芯片的制作方法，包括下列步骤：制备衬底；在衬底表面生长辐射吸收材料；将热敏电阻粘接于衬底表面；将加热丝材料沉积于衬底表面；在带有加热丝材料薄膜的衬底表面生长加热丝保护膜。采用本发明方法制作的辐射探测芯片结构简单，尺寸及质量都得到了很好的控制；由于衬底选用的是高热导率、高绝缘性及低的热容材料，并……
资助项目	100552395
申请号	200810050497.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11135
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,方伟,梁中翥. 一种微型辐射探测芯片的制作方法 (发明)[P]. 2009-10-21.

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CN200810124604800000（672KB）			开放获取	--	浏览 下载

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