Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 硅基有机微光机声压传感器芯片制备方法 (发明) | |
张平 ; 高福斌; 邢汝冰
| |
| 2001-10-24 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属光电子传感器技术领域，涉及一种对硅基集成微光机声压传感器制备方法的改进。本发明用有机材料成膜技术取代了复杂的化学气相沉积和等离子增强化学气相沉积等制备技术，制作Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ干涉仪脊型光波导结构，使得光波导结构中各层薄膜的制备工艺得到简化、制作方便、制作成本得以降低、性能得以改善并制备出硅基有机微光机…… |
| 资助项目 | 1318737 |
| 申请号 | 1119332.8 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11121 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平,高福斌,邢汝冰. 硅基有机微光机声压传感器芯片制备方法 (发明)[P]. 2001-10-24. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200100131873700000（229KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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