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物体三维角度变形的自准直干涉测量系统 (发明)
乔彦峰; 李向荣; 李清安; 郭平平; 张尧禹
2007-01-17
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2007-01-17
专利类型发明专利
摘要本发明属于光电测量技术领域,涉及一种自准直干涉测量系统。包括:第一光源1、光阑2、第一分光棱镜3、第二分光棱镜4、第三分光棱镜5、物镜组6、反射镜7、CCD探测器8、第二光源9、自准光栅10、瞄准光栅11、CCD探测器12。本发明提出一种基于自准直干涉原理测量物体三维角度变形的新方法,解决背景技术不能测量三维角度变形的……
资助项目1295483
申请号200410010856.3
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11074
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
乔彦峰,李向荣,李清安,等. 物体三维角度变形的自准直干涉测量系统 (发明)[P]. 2007-01-17.
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