籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法 (发明)

	籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法 (发明)
	王志军; 吕有明; 申德振; 王之建; 李守春; 元金山; 张吉英; 范希武
	2005-11-16
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于半导体材料技术领域，是籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法。将等质量的乙酸锌与碳酸氢钠在室温下充分研磨，在１６０℃下反应２～４小时，将产物用去离子水清洗并在１００℃烘干。利用旋涂技术将１～３％的非晶ＺｎＯ乙醇溶液均匀地旋涂在清洗好的衬底上，在１８０～２００℃下反应２～４小时。将衬底上晶化生成同一取……
资助项目	1696356
申请号	200410010860.X
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11053
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王志军,吕有明,申德振,等. 籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法 (发明)[P]. 2005-11-16.