Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种制备多晶硅的方法 (发明) | |
黄金英; 付国柱; 荆海; 凌志华 | |
2006-02-01 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明属于半导体材料领域,是一种制备多晶硅的方法。本发明将直接沉积在玻璃基板上的非晶硅薄膜,用金属诱导-双次激光退火的方法晶化为多晶硅。首先在普通玻璃基板上制备一层高品质的非晶硅薄膜,然后在非晶硅薄膜上制备一薄层金属镍,并将金属镍光刻成细线,对样品进行一次激光退火,一次激光退火结束后,去除非晶硅薄膜上多余的金属镍,之后…… |
资助项目 | 1727525 |
申请号 | 200510016605 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11050 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄金英,付国柱,荆海,等. 一种制备多晶硅的方法 (发明)[P]. 2006-02-01. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200600172752500000(423KB) | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 |
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