Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种制备多晶硅的方法 (发明) | |
| 黄金英; 付国柱; 荆海; 凌志华 | |
| 2006-02-01 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于半导体材料领域，是一种制备多晶硅的方法。本发明将直接沉积在玻璃基板上的非晶硅薄膜，用金属诱导－双次激光退火的方法晶化为多晶硅。首先在普通玻璃基板上制备一层高品质的非晶硅薄膜，然后在非晶硅薄膜上制备一薄层金属镍，并将金属镍光刻成细线，对样品进行一次激光退火，一次激光退火结束后，去除非晶硅薄膜上多余的金属镍，之后…… |
| 资助项目 | 1727525 |
| 申请号 | 200510016605 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11050 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄金英,付国柱,荆海,等. 一种制备多晶硅的方法 (发明)[P]. 2006-02-01. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200600172752500000（423KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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