中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

QQ客服 官方微博 反馈留言

	制备ＺｎＭｇＯ合金薄膜的方法 (发明)
	吕有明; 宿世臣; 张振中; 李炳辉; 申德振
	2011-12-28
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2011-12-28
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种制备ＺｎＭｇＯ合金薄膜的方法，以金属Ｚｎ作为Ｚｎ源，以金属Ｍｇ作为Ｍｇ源，在通入氧气的等离子体辅助分子束外延设备中通过加热Ｚｎ源、Ｍｇ源，在蓝宝石衬底上沉积生长获得ＺｎＭｇＯ合金薄膜，固定Ｚｎ源和Ｍｇ源的温度，通过改变参与反应的氧气的流量，得到不同Ｍｇ组分的ＺｎＭｇＯ合金薄膜，在生长温度为６００℃～８００……
资助项目	101235537B
申请号	200710056297.3
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11046
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吕有明,宿世臣,张振中,等. 制备ＺｎＭｇＯ合金薄膜的方法 (发明)[P]. 2011-12-28.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN200810123553700000（262KB）			开放获取	--	浏览 下载

个性服务

推荐该条目

保存到收藏夹

查看访问统计

导出为Endnote文件

谷歌学术

谷歌学术中相似的文章

[吕有明]的文章

[宿世臣]的文章

[张振中]的文章

百度学术

百度学术中相似的文章

[吕有明]的文章

[宿世臣]的文章

[张振中]的文章

必应学术

必应学术中相似的文章

[吕有明]的文章

[宿世臣]的文章

[张振中]的文章

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。