Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种选域金刚石膜的制备方法 (发明) | |
赵海峰 ; 宋航; 李志明; 金亿鑫; 邴秀华
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| 2004-08-18 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2004-08-18 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及制备金刚石薄膜的方法，在选域衬底的导电图形上生成籽晶衬底实现金刚石膜精确定域沉积；对籽晶衬底继续生长制备不同特性的金刚石膜。金刚石膜与衬底附着牢固；例如：制备金刚石场发射冷阴极，将电子发射区域有效地控制在所选择区域，集中密集发射。特别是在微尖（台）顶部预沉积籽晶并生长金刚石的冷阴极，可较好的利用场增强效应，避…… |
| 资助项目 | 1162568 |
| 申请号 | 1124619.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11041 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵海峰,宋航,李志明,等. 一种选域金刚石膜的制备方法 (发明)[P]. 2004-08-18. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200136494500000（182KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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