中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	氧化物透明导电薄膜材料 (发明)
	初国强; 刘星元; 刘云; 王立军
	2002-09-18
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于光电技术，是一种透明导电薄膜，本发明是用掺有硼、铝、铟的一种或一种以上的Ｚｎ↓［２］ＳｎＯ↓［４］或Ｚｎ－ＳｎＯ↓［３］作为透明导电薄膜材料，用喷涂法、溅射镀膜法或热蒸发法、离子镀，制备氧化物透明导电薄膜，薄膜中分子式可以写成Ｍ：ＺｎＳｎＯ↓［４］或Ｍ：ＺｎＳｎＯ↓［３］，其中Ｍ表示为Ｂ、Ａｌ、Ｉｎ。使用本发……
资助项目	1369572
申请号	1112276.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11037
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	初国强,刘星元,刘云,等. 氧化物透明导电薄膜材料 (发明)[P]. 2002-09-18.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN200200136957200000（209KB）			开放获取	--	浏览 请求全文

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