Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大口径高精度超光滑非球面制备方法 (发明) | |
金春水 ; 曹吕良; 向鹏
| |
| 2006-11-22 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2006-11-22 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及非球面加工技术。要解决大口径高精度超光滑非球面加工非常困难，而且加工周期长、成本较高的问题。本发明在溅射功率及工作气体压强一定的条件下，首先对靶材的沉积速率进行定标，再根据球面和非球面的差异量，利用沉积速率确定出转盘公转机构的速度，通过控制球面基底上各点经过溅射靶材的公转速度，从而控制球面基底上各点在溅射镀膜…… |
| 资助项目 | 1285756 |
| 申请号 | 200310109906.9 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11030 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,曹吕良,向鹏. 大口径高精度超光滑非球面制备方法 (发明)[P]. 2006-11-22. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200400154216100000（282KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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