中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	从液相外延废液中回收高纯金属镓工艺方法 (发明)
	元金山; 张富文; 李向文
	2001-09-05
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于液相外延制备Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体光电子材料领域，涉及一种对从液相外延废液中回收高纯金属镓工艺方法的改进。在废镓中加入浮游剂去除废镓中的铝杂质；利用高温高真空去除废镓中的Ｚｎ、Ａｓ、Ｔｅ等蒸气压高的杂质。用本发明回收高纯金属镓的杂质含量小于３μｇ／ｇ，用其生产的外延片的基本参数与采用日本进口高纯镓一致。对液相外……
资助项目	1311343
申请号	103907.5
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11026
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	元金山,张富文,李向文. 从液相外延废液中回收高纯金属镓工艺方法 (发明)[P]. 2001-09-05.

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CN200100131134300000（148KB）			开放获取	--	浏览 下载

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