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用于高温传感器的Si-B-C-N非晶陶瓷材料的制备方法 (发明)
王岩松; 范翊; 罗劲松; 张立功
2009-06-24
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2009-06-24
专利类型发明专利
摘要本发明属于电子材料技术领域,是一种用于高温传感器的Si-B-C-N非晶陶瓷材料的制备方法。采用高温热裂解聚合物前驱体法,具体步骤是:选取二乙烯基二氯硅烷和乙硼烷的乙醚溶液作为起始原料,化学合成聚合物前驱体;固化、交联,生成固态聚合物;通过球磨,将固态聚合物研磨成粉末;把固态聚合物粉末压成片状,在高温下烧结,使聚合物热解……
资助项目100503514
申请号200510016502.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10976
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王岩松,范翊,罗劲松,等. 用于高温传感器的Si-B-C-N非晶陶瓷材料的制备方法 (发明)[P]. 2009-06-24.
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