用等离子体辅助MOCVD设备制备硫化锌纳米线的方法 (发明)

	用等离子体辅助MOCVD设备制备硫化锌纳米线的方法 (发明)
	冯秋菊; 申德振; 张吉英; 吕有明; 刘益春; 范希武
	2007-03-07
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2007-03-07
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于半导体材料技术领域，是一种利用等离子体辅助的金属有机化学气相沉积方法制备硫化物纳米线的方法。利用ＺｎＳ极性与非极性表面稳定性的不同，采用等离子处理的方法，由高频感应线圈产生一个交变的电场，使气源离化，增加反应活性。在衬底表面生成的ＺｎＳ极性比较强容易在表面产生迁移，形成最初的ＺｎＳ纳米球状结构，继续生长形成Ｚ……
资助项目	1302996
申请号	200410011349.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10968
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	冯秋菊,申德振,张吉英,等. 用等离子体辅助MOCVD设备制备硫化锌纳米线的方法 (发明)[P]. 2007-03-07.