Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种微光机电器件的制作方法 (发明) | |
梁静秋 ; 吴一辉; 张平; 白兰
| |
| 2005-11-23 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2005-11-23 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种三维微光机电器件结构的制作方法。在衬底上溅射电铸阴极，光刻、电铸形成金属结构，去胶后去除暴露的电铸阴极，再次用厚型正性光刻胶曝光、显影、坚膜暴露金属结构上表面，剩余光刻胶作牺牲层。涂敷另一种光刻胶，前烘、曝光、后烘、显影、坚膜，去除牺牲层，制成微器件。本发明采用光刻技术在上盖体内制作任意几何形状的微结构；…… |
| 资助项目 | 1228237 |
| 申请号 | 2133086.7 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10966 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋,吴一辉,张平,等. 一种微光机电器件的制作方法 (发明)[P]. 2005-11-23. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200300140155700000（326KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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