Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪 (发明) | |
王君林 ; 徐长山
| |
| 2004-04-28 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2004-04-28 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪，属于光学冷加工技术领域中的一种对抛光液膜厚度的测量装置。本发明要解决的技术问题是如何使液膜厚度的变化，转变为下反射镜相对于上反射镜转动的角度变化。解决技术问题的技术方案是：在变角式双反射镜中，采用轻质滑座托起顶杆支撑带有光滑转轴的下反射镜绕转轴转动的结构，通过反射面相对安装的变角式…… |
| 资助项目 | 1147706 |
| 申请号 | 2109013 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10953 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王君林,徐长山. 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪 (发明)[P]. 2004-04-28. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200200135898300000（217KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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