Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 抛光液自动滴液装置 (发明) | |
刘云; 张彪; 王立军 ; 王祥鹏; 王超
| |
| 2007-11-21 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于半导体光电子学技术领域，涉及一种抛光液自动滴液装置，其采用的技术方案：盛液瓶固定在自动抛光机支杆上，盛液瓶的瓶底与导液管连接，导液管与一级控制阀连接，一级控制阀与真空气囊连接，真空气囊与二级控制阀连接，二级控制阀固定联接在抛光机的与抛光工件盘相连的支架上。本发明将抛光液装在盛液瓶中，利用控制阀来控制抛光液滴定…… |
| 资助项目 | 101073881 |
| 申请号 | 200710055788.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10952 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘云,张彪,王立军,等. 抛光液自动滴液装置 (发明)[P]. 2007-11-21. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200710107388100000（223KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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