Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明) | |
| 宋文荣; 何惠阳; 王延风; 于国飞; 查明 | |
| 2005-08-17 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2005-08-17 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及超精密微位移导轨磁悬浮方法及装置，方法是控制磁悬浮线圈向上浮起，使微进给平台悬浮在导轨上，利用控制系统驱动微进给平台沿导轨实现精密、超精密直线微进给运动。装置包括直线电机初级１、导轨２、微进给平台３、直线电机次级４、初级底座５、机构底座６、磁悬浮线圈７、起落支撑８、控制计算机９、电机功率放大器１０、磁悬浮线圈…… |
| 资助项目 | 1214892 |
| 申请号 | 2132839 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/10943 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋文荣,何惠阳,王延风,等. 超精密微位移导轨磁悬浮方法及其装置 (发明)[P]. 2005-08-17. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200300141545600000（509KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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